Forschung am IOM
Oberflächen für Key Enabling Technologies
Schlüsseltechnologien wie Optik, Photonik, Mikro- und Nanoelektronik, Quantentechnologien und Raumfahrt basieren auf Oberflächen mit höchster Präzision und spezifischen Funktionalitäten. In diesem Themenbereich erforscht das IOM hochfunktionale Oberflächen, die den Zugang zu diesen Hochtechnologiefeldern ermöglichen. Die Arbeiten verbinden ultrapräzise Oberflächenbearbeitung, ionen- und plasmabasierte Prozesse sowie Modellierung und Diagnostik.
